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ぶんしポンプ【分子ポンプ】 一般用語集 ふ


項目 ぶんしポンプ【分子ポンプ】
意味 真空ポンプの一種。高速回転体に接している気体が,その粘性によってひきずられて流れることを利用した超高真空ポンプ。


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