用語集一般用語集>イオンビーム【ion beam】

一般用語集


イオンビーム【ion beam】 一般用語集 い


項目 イオンビーム【ion beam】
意味 原子や分子から電子衝撃などによってつくられたイオンを,電場や磁場によって制御して方向性を整えた流れ。加速器,半導体中への不純物注入・表面清浄化・表面加工,表面および内部の分析などに用いられる。


一般用語集 五十音順