建築設備用語集

ステッパー　／　すてっぱー　建築設備用語集　す

項目	ステッパー　／　すてっぱー
英語	stepper
意味	半導体製造装置の一つ。ウェーハ上に回路パターンを縮小投影し、繰り返し転写する装置。